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Università degli Studi di Parma Università degli Studi di Parma
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Corsi di studio e offerta formativa
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corsi di studio e offerta formativa

TECNOLOGIE DI CRESCITA DEI MATERIALI PER L'ELETTRONICA
cod. 18966

Anno accademico 2007/08
2° anno di corso - Secondo semestre
Docente
Settore scientifico disciplinare
Fisica della materia (FIS/03)
Field
Discipline fisiche e chimiche
Tipologia attività formativa
Caratterizzante
24 ore
di attività frontali
3 crediti
sede:
insegnamento
in - - -
orari del corso non disponibili
appelli d'esame
Stampa

Obiettivi formativi

Introduzione alle varie tecnologie di accrescimento dei materiali monocristallini

Prerequisiti

Fondamenti chimico fisici nelle tecnologie dei materiali, Fisica dei Materiali

Contenuti dell'insegnamento

<br />Aspetti fenomenologici e atomistici nella fisica della cristallizzazione <br />dei materiali, Stabilita' di crescita e concetto di epitassia. La <br />tecnologia di crescita nei materiali per elettronica: rassegna delle <br />principali tecniche. Tecniche di crescita di cristalli massivi.  <br />Difetti strutturali: come si generano, come si evidenziano, come si <br />controllano (eliminano). Profili di drogaggio e loro controllo.  <br />Cenni di tecnologia di ''processing'' (taglio, lappatura, lucidatura, <br />orientazione dei wafer, con particolare riferimento al silicio).<br />La tecnologia di crescita delle strutture epitassiali: descrizione delle <br />tecniche LPE, CVD, MOCVD, MBE. Cenni di modellizzazione matematica dei <br />processi di deposizione epitassiale.<br />La tecnologia planare (con particolare riferimento al silicio): <br />ossidazione, diffusione in stato solido, impiantazione ionica (cenni),<br />metallizzazioni (cenni), sistemi litografici (cenni). Esempi di <br />applicazioni.

Programma esteso

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Bibliografia

<br />Appunti del docente. Si consiglia inoltre:<br />1) A.A.Chernov ed., Modern Crystallography III: Crystal Growth, Springer, Berlino, 1984 (capitoli selezionati); 2) J.C.Brice, Crystal Growth Processes, Blackie-Halstead press, Glasgow, 1986 (capitoli selezionati)

Metodi didattici

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Modalità verifica apprendimento

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Altre informazioni

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